美光:向ASML购买光刻机,计划2024年将EUV引入DRAM生产

据报道,存储大厂美光2021财年的资本支出将超过95亿美元,部分原因是其开始从ASML购买EUV设备。美光表示,计划从2024年开始,将EUV纳入DRAM开发路线图。另外,美光计划在今年年底安装ASML新一代EUV光刻机3600D。此前,三星、SK海力士已投入EUV DRAM。(新浪财经)原文链接

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