国内首条12英寸先进传感器研发中试线成功通线

据国家智能传感器创新中心官微消息,由国家智能传感器创新中心建设的国内首条12英寸先进传感器中试线成功通线。该中试线以国产设备为主,具备晶圆键合、晶圆减薄、干湿法刻蚀、物理和化学气相沉积、原子层沉积、化学机械研磨、湿法清洗、自动化量测等先进传感器和晶圆级3D集成技术的核心工艺能力,同时为国产装备提供验证平台,加速先进传感器产业链国产化,实现自主可控。(证券时报)原文链接

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