清华团队新成果在《自然》发表:有望解决光刻机自主研发难题

今日,清华大学工程物理系唐传祥研究组与合作团队在《自然》上发表研究论文《稳态微聚束原理的实验演示》,报告了一种新型粒子加速器光源“稳态微聚束”的首个原理验证实验。基于该原理,能获得高功率、高重频、窄带宽的相干辐射,波长可覆盖从太赫兹到极紫外波段,有望为光子科学研究提供广阔的新机遇。与之相关的极紫外光源有望解决自主研发光刻机中最核心的“卡脖子”难题。(澎湃)原文链接

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